29.5.07

Some Idea with Etching Silicon by KOH

1. Si的電負度較低,較易被親核基攻擊。
2. Si的體積較大,較易被親核基攻擊。
3. 鍵能比較 Si-O (193kcal/mol) > Si-H (393 kj/mol) > Si-Si (340~368 kj/mol ; 78kcal/mol)